型號

日本精工

SPI3800N

主要規(guī)格

及技術(shù)指標(biāo)

1. 分辨率：水平 0.1 nm，垂直0.01 nm
2. 掃描范圍最大：100 μm²
3. 放大倍率: 1000 -1000000x
4. 高分辨率：三維圖象顯示

材料要求

二維原子薄膜、原子平整基底表面鍍膜的形貌表征和電、磁性能分析（長寬高控制在15 ╳ 15 ╳ 2 mm內(nèi)）

主要功能

及應(yīng)用范圍

目前全球商用的唯一一款真正專業(yè)級高真空環(huán)境控制型SPM， 不但具備多功能掃描探針顯微鏡系統(tǒng)所有功能；而且掃描在封閉的Chamber中進(jìn)行，可對測量的環(huán)境（高真空、高溫、低溫、液體、電化學(xué)等）進(jìn)行控制；可實現(xiàn)AFM、DFM、STM、MFM、EFM、KFM、C-AFM等功能，可連續(xù)變溫，溫度范圍：-120 - 800℃。

測試項目

AFM、DFM表面形貌分析

MFM、FFM、EFM、KFM測試等

I-V、Force-Curve測試

薄膜樣品和需要制樣的固體樣品

可測試-120 - 800℃溫度區(qū)間內(nèi)的數(shù)據(jù)